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可燃氣體檢測儀
產(chǎn) 品 說 明
XPS-7Ⅱ半導(dǎo)體材料氣體檢測儀
檢測對象：毒氣/半導(dǎo)體材料氣體
檢測范圍：根據(jù)規(guī)格而定
檢測原理：定電位電解式
檢測方式：泵吸引式
應(yīng)用行業(yè)：石油化工、半導(dǎo)體制造
產(chǎn)品特點
· 只需要更換傳感器單元就可以檢測各種對象氣體
· 用盒式傳感器單元無需進行氣體檢測器校正
· 可以大幅度削減成本和維護時間
產(chǎn)品用途
· 半導(dǎo)體工廠/石油化學工廠等
· 在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場進行泄漏檢測
對象氣體
| 型號 | 氣體 | 滿量程 |
| XDS-7NH | NH3 | 100ppm |
| XDS-7SH | SiH4 | 25ppm |
| XDS-7DC | SiH2Cl2 | 25ppm |
| XDS-7AH | AsH3 | 250ppb |
| XDS-7PH | PH3 | 1ppm |
| XDS-7BH | B2H6 | 500ppb |
| XDS-7SE | H2Se | 250ppb |
| XDS-7GH | GeH4 | 1ppm |
| XDS-7CL | Cl2 | 5ppm |
| XDS-7CF | ClF3 | 1ppm |
| XDS-7HC | HCl | 25ppm |
| XDS-7HF | HF | 10ppm |
| XDS-7HB | HBr | 10ppm |
| XDS-7NO | NO | 100ppm |
| XDS-7HS | H2S | 50ppm |
| XDS-7CO | CO | 250ppm |
| XDS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
| XDS-7F2 | F2 | 5ppm |
| XDS-7OZ | O3 | 1ppm |
| XDS-7SD | SO2 | 10ppm |
| XDS-7ND | NO2 | 10ppm |
| XDS-7NF | NF3 | 100ppm |
